工作原理：

　　其核心思想是利用光的反射來測量薄膜的厚度。在測量過程中，入射光照射到薄膜表面時，部分光會被薄膜表面反射，而部分光則透過薄膜并在薄膜底部反射回來。這兩部分光的干涉結果，即兩束光波相遇時的相位差，將決定薄膜的厚度。

　　1.光的反射與干涉

　　當光照射到薄膜上時，會發生反射與透射。入射光的部分被薄膜表面反射，另一部分則通過薄膜底部的界面發生反射。由于兩束反射光的路徑不同，它們在干涉過程中會產生相位差。如果兩束光的相位差為整數倍的波長（即光波的干涉條件），則兩束光會相長干涉，增強反射信號；如果相位差為半波長的整數倍（即相消干涉），則會減弱反射信號。

　　薄膜的厚度與光波的相位差密切相關。具體而言，薄膜的厚度與光的波長、薄膜的折射率以及干涉條紋的變化有關。通過精確分析干涉條紋的變化，能夠計算出薄膜的精確厚度。

　　2.干涉條紋的測量

　　在實際應用中，通常通過一個干涉條紋顯示系統來觀察反射光的干涉效應。隨著薄膜厚度的變化，反射光的干涉條紋也會發生明顯的變化。儀器通過檢測干涉條紋的位置變化，并結合光的波長以及薄膜的折射率，精確計算出薄膜的厚度。

　　結構組成：

　　反射膜厚儀主要由光源、干涉系統、探測器、顯示系統和控制系統等幾個部分組成。

　　1.光源

　　光源通常采用單色光源或可調激光光源。光源的穩定性和波長范圍對于測量精度至關重要。激光光源通常用于高精度的薄膜厚度測量，其波長較短，能夠提供更高的分辨率。

　　2.干涉系統

　　干涉系統負責將入射光分為兩束并在薄膜表面與底面產生反射光。干涉系統一般由分束器、干涉鏡片以及調節裝置組成。其功能是調節光路，使得反射光能夠形成清晰的干涉條紋，從而可以準確測量薄膜厚度。

　　3.探測器

　　探測器用于檢測干涉條紋的變化。采用光電探測器或CCD探測器，能夠高精度地捕捉到干涉條紋的位置變化。探測器的精度直接影響到膜厚的測量精度，因此，探測器的選擇和性能至關重要。

　　4.顯示系統

　　顯示系統負責將探測器采集到的信號轉換為圖像或數字數據，并將其展示給操作人員。常見的顯示方式包括LCD屏幕或計算機界面。顯示系統不僅能夠顯示干涉條紋的變化，還能夠顯示計算出的薄膜厚度。

　　5.控制系統

　　控制系統負責整個儀器的操作和協調。它控制光源的強度，調節干涉系統的位置，處理探測器的信號，并將測量結果顯示出來。隨著技術的進步，許多反射膜厚儀配備了自動化控制系統，可以在不同條件下自動調節參數，提高測量效率。